• 蓄能器• 传动器• 束线管• 腔体升降波纹管• 连接器
• 联轴器(柔性)• 联轴器(扭性)• 传送器• 导气管• 闸阀
• 泄漏检测仪• 提升机• 定向器• 储液槽/容积补偿器• 传感器
• 缝隙阀• 阀杆密封装置• 振动隔离• 晶圆升降波纹管• 晶圆送料器

• 具有密封防漏功能,确保每秒钟的泄漏量只有1×10-10标准立方厘米的氦气
• 最长的产品生命周期(标准为一百万个周期+)
• 能够容忍极端的温度
• 低出气率
• 具有抗腐蚀能力

• BELCAXTM(波纹管设计程序)
• CAD(计算机辅助设计)
• FEA(有限元分析)
• 实体建模
• 相当大的、可扩展的100、1000和10000级净室

• 产品生命周期(以压力和温度为指标) • 负荷/动力
• 质谱仪测试 • 平均有效面积
• 冶金 • 压力(爆裂、脉冲)
• 断裂 • 扫描电子显微镜(SEM)
• 冲击 • 弹簧刚度
• 振动(随机、正弦) • 体积变化

• 电子束(EBW)(高达150千伏特)
• 钨极氩弧(GTAW钨极氩弧焊)
• 激光
• 微束等离子弧(PAW等离子弧焊)
• 轨道钨极氩弧

• 300系列不锈钢
• AM350不锈钢
• 哈氏合金C
• Haynes(海恩斯)合金242
• lnconel(英科耐尔)625和718合金
• 钛